Máy bơm chân không đa tầng Root khô Model LR là lựa chọn hàng đầu dành cho các ứng dụng cần chân không sạch và bơm nhanh như trong buồng load-lock, quy trình PVD, trong đó việc giảm thời gian xả là quan trọng.
Đặc điểm nổi bật
Phù hợp cho ứng dụng nhiệt độ thấp (Model LR)
Dòng bơm chân không LR được thiết kế chuyên biệt để rút ngắn thời gian hạ áp trong các quá trình như buồng khóa tải, lắng đọng PVD và các hệ thống cần bơm nhanh.Hiệu quả cao khi bơm khí heli
Sử dụng động cơ kín, thiết bị đảm bảo độ an toàn vận hành và dễ dàng bảo dưỡng, đồng thời đáp ứng tốt khi xử lý khí nhẹ như helium.Khả năng chống gián đoạn điện tạm thời
Máy có thể tiếp tục hoạt động ổn định khi bị ngắt nguồn trong thời gian ngắn, tối đa tới 500 ms, không gây ảnh hưởng đến quy trình.Chống ăn mòn vượt trội (Model HR/UR)
Các linh kiện bên trong được xử lý bề mặt bằng công nghệ đặc biệt, giúp tăng độ cứng và chống ăn mòn, kéo dài tuổi thọ khi tiếp xúc với khí hóa chất hoặc môi trường khắc nghiệt.Tích hợp khả năng giao tiếp và giám sát từ xa
Thiết bị hỗ trợ xuất dữ liệu như cảnh báo sự cố, trạng thái rung động, đồng thời có thể kết nối với hệ thống điều khiển để mở rộng chức năng quản lý.
Ứng dụng thực tế
- Thiết bị phun phủ, thiết bị lắng đọng hơi, v.v.
- Rút ngắn thời gian bơm của buồng khóa tải
- Bơm hỗ trợ cho bơm phân tử turbo và bơm tăng áp cơ học
Thông số kỹ thuật
| Model | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| Max. pumping speed | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| Ultimate pressure | 5.0 Pa | |||||
| Max. inlet pressure | Atmospheric pressure | |||||
| Max. exhaust pressure | 1.0 to Atmospheric pressure Pa | |||||
| Inlet diameter (type CE) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| Outlet diameter | KF40 | VG50 | ||||
| Weight | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| Power *1 | Three phase | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
| Current | At ultimate pressure | 6.9 A (at 200V) | 11.2 A (at 200V) | 18.9 A (at 200V) | 20.8 A (at 200V) | |
| At max. load | 7.3 A (at 200V) | 11.8 A (at 200V) | 20.6 A (at 200V) | 48.5 A (at 200V) | ||
| Cooling water Supply pressure | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
| Cooling water In/Out differrencepressure | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| Cooling water Flow rate | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
| N2 gas | Supply pressure | 0.1~0.5 MPa | ||||
| Regula- ted pressure | 0.05~0.1 MPa | |||||
| N2 purge | Shaft purge | 5 SLM | ||||
| Gas ballast | 0~45 SLM | None | 0~45 SLM | |||
| Model | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601- TR (TTR) | |
| Pump | DRP | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
| MBP | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
| Max. pumping speed | 50Hz | 359 m3/h (5,980 L/min) | 653 m3/h (10,900 L/min) | 1,012 m3/h (16,900 L/min) | 1,701 m3/h (28,350 L/min) | 3,200 m3/h (53,333 L/min) | |||
| 60Hz | 365m3/h (6,080 L/min) | 701m3/h (11,700 L/min) | 1,051m3/h (17,500 L/min) | 1,784m3/h (29,700 L/min) | |||||
| Ultimate pressure | 0.67 Pa | ||||||||
| Max. inlet pressure | Atmospheric pressure | ||||||||
| Max. exhaust pressure | 1.0 to Atmospheric pressure Pa | ||||||||
| Inlet diameter (type CE) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
| Outlet diameter | KF40 | KF50 | |||||||
| Surface treatment of MBP | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | |
| Weight | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
| Power *2 | Three phase | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240/380~440(50/60) | ||||||
| Current | At ultimate pressure | 7.0 A (at 200V) | 12.3 A (at 200V) | 13.7 A (at 200V) | 21.4 A (at 200V) | 31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | ||
| At max. load | 9.6 A (at 200V) | 19.0 A (at 200V) | 24.2 A (at 200V) | 39.8 A (at 200V) | 58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |||
| Cooling water Supply pressure | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
| Cooling water In/Out differrencepressure | >0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
| Cooling water Flow rate | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
| N2 gas | Supply pressure | 0.1~0.5 MPa | |||||||
| Regula- ted pressure | 0.05~0.1 MPa | ||||||||
| N2 purge | Shaft purge | 5 SLM | |||||||
| Gas ballast | 0~45 SLM | None *3 | 0~45 SLM | None *3 | 0~45 SLM | ||||
Phụ kiện
| Model | Material | Surface treatment | Weight (kg) | Flange connection | LR 300 | LR 600 | LR 1200 | LR 1800 | L& 3601 | LR 60 | LR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421- T |
| RS-01 + kitA | SUS 304 | GBB treatment | 4.1 kg | KF40 | 〇 | – | – | – | – | 〇 | 〇 | – | – | – |
| RS-01 + kitB | KF40 | – | 〇 | 〇 | – | – | – | – | – | – | – | |||
| RS-02 + kitA | 8.3 kg | KF40 | 〇 | – | – | – | – | – | – | 〇 | – | – | ||
| RS-02 + kitB | KF40 | – | 〇 | 〇 | 〇 | – | – | – | – | – | – | |||
| RS-03 + kitA | Polished plate | 12.5 kg | KF50 | – | – | – | – | – | – | – | – | 〇 | 〇 | |
| RS-03 + kitB | – | – | – | – | 〇 | – | – | – | – | – |
Hãy là người đầu tiên nhận xét “Máy bơm chân không đa tầng Root khô Model LR”
Sản phẩm tương tự
Bơm chân không ULVAC
Bơm chân không ULVAC
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.